Extrem högvakuum eller ultra högvakuum är den teknik som används för att nå väldigt låga tryck: <1E-10 mbar. Vissa av pumpmodellerna inom ultrahögvakuum hittas även under högvakuum applikationer, men processerna kan skilja sig vad gäller val av pumpmodell. Här kan du läsa mer om Högvakuum.