Högvakuum

Högvakuum – turbopumpar och vakuumteknik

Är er verksamhet i behov av en högvakuumpump? Ett högvakuum innebär ett molekylärt flöde med väldigt lite materia, eftersom trycket är mycket lågt. All materia – även gas – har ett litet ångtryck och även detta ångtryck behöver man sänka för att skapa högvakuum. För att trycket ska sjunka under materiens ångtryck kan man inte använda sig av traditionell mekanisk förflyttning av gas, utan andra metoder behöver kopplas in.

Low2High erbjuder flera varianter av högvakuumpumpar för de riktigt låga trycknivåerna:

  • Turbomolekylära pumpar – även kallad turbopump. Används enbart tillsammans med en förvakuumpump i syfte att skapa ett väldigt lågt tryck.
  • Kryoteknik-pumpar/-cold heads/-kompressorer – fångar upp gasmolekyler i vakuumutrymmet, genom att fästa dem vid kryotekniskt nedkylda ytor.
  • Diffusionspumpar – ett vakuumystem som med hjälp av ånga i hög hastighet transporterar ut gas från vakuumutrymmet.

Turbomolekylära pumpar (turbopumpar)

Turbomolekylära pumpar eller ”turbopumpar” som de kallas till vardags är högvakuumpumpar som endast används i kombination med
en förvakuumpump. Pumparna används generellt i applikationer som kräver en ren driftmiljö under högvakuum eller ultrahögvakuum. Funktionsprincipen för en turbopump är att en turbin med hög hastighet snurrar i ett pumphus där flertalet rotorsteg i turbinen är försedda med rotorblad. Mellan varje steg av rotorblad finns det stationära statorer som är vinklade i motsatt riktning jämte rotorbladen och bildar
en ”V”-form mellan sig.

Med hjälp av rörelseenergin genom turbinens rotorblad slår rotorbladen gasmolekylerna i en axial riktning ned igenom pumpkroppen.
För varje rotorsteg och statorsteg så slås molekylerna vidare igenom pumpen i riktning mot förvakuumflänsen.

Under molekylärt flöde (<10-3 mbar) är den medelfria vägen (det avstånd som en molekyl färdas innan den kolliderar med en annan molekyl) för gasmolekyler större än avståndet mellan rotor- och statorblad (normalt några tiondelar av en millimeter).
Detta innebär att molekylerna istället kolliderar med tätt sittande rotorbladen och medför en mycket effektiv pumphastighet.

På vissa modeller har man även ett extra kompressionssteg som har lite olika namn beroende på tillverkare och varianter av samma
typ av lösning. Ibland heter det ”drag stage” ibland även ”Siegbahn stage”vi kallar det vanligen för ”Holweck stage” efter uppfinnaren.
Detta extra kompressionssteg ger ytterligare en dimension till pumptypen avseende vid vilket tryck som pumpen kan startas.
Med ett Holweck stage kan pumpen starta redan vid så höga tryck som 10-15 mbar (N2).

En annan sak som för användarna brukar vara viktig är vilka typer av lager som den snabbt roterande turbinen använder sig av.
De äldre modellerna hade vanliga fett- eller olje-smorda lager för att kunna hålla lång livslängd. Det blev med tiden allt mer viktigt för användare av pumparna att begränsa den potentiella risken för kontaminering av vakuumsystemet till följd av att kolväten ifrån fett
och olja lyckades ta sig ifrån sin inkapsling igenom pumpen och leta sig in (mot flödesriktningen) in i vakuumsystemet och potentiellt förstöra produkter eller prover som fanns där inne.

För att komma till bukt med den problematiken så tog man fram alternativa lösningar på problemet. Magnetlagrade turbopumpar.
De nya ”MAG”-pumparna hade magnetiska lager som inte naturligt har någon kontakt med den roterande turbinen, på detta sätt har
man avgränsat potentiellt läckage. Enda gången som lagren utsätts for mekaniskt slitage i klassisk bemärkelse är när pumpen stoppas
och då nedre delen av turbinen ”landar” emot lagerytan och där får kontakt. Detta är dock ett mindre slitage i sammanhanget och
tekniken med magnetlagring klassas som ett stort framsteg vad gäller livslängd på turbopumpar.

På senare år har man börjat kombinera de två metoderna för att än mer kunna förlänga livslängd och minska stilleståndstider;
historiskt sätt så har man alltid (oavsett fabrikat) när pumpen gått sönder behövt att sända den till en verkstad med rätt kompetens
och rätt verktyg för att kunna reparera pumpen. Mindre åtgärder kunde dock fortfarande göras på plats, men för större haverier var
detta enda lösningen.

Den moderna lösningen kallas för hybridpumpar där man tagit ett magnetlager som sitter i den övre delen av pumpen, och kompletterat detta med ett permanentsmort lager i den nedre delen av pumpen. Med erfarenheter ifrån användarna som tyckte det var krångligt och
dyrt att skicka iväg pumparna på reparation till verkstäder, tog man till sig detta och löste även problematiken med de vanligaste
haverierna så att dessa kunde åtgärdas på plats hos användarna istället. Numera så är den nya standarden på marknaden just hybridpumpar för deras mångsidighet vad gäller pumpförmåga och lång livslängd.

Turbomolekylära pumpar hittar man exempelvis i dessa sammanhang:

  • Analysinstrumentation
    • Läcksökning/masspektrometri
    • Gas chromatrografi
    • Quadrupol time of flight (Q-TOF)
    • ICP-MS
    • MALDI-TOF
    • Elektronstråle mikroskopi
  • Beläggning
    • Datalagring (optisk)
    • Datalagring (magnetisk)
    • Plattskärmstillverkning
    • Optisk beläggning
    • Dekorativ beläggning
    • Metallisering
    • Skyddsfilmer
    • Metallurgi (generellt)
  • Forskning och utvekling
    • Ytanalys
    • UHV/XHV system
    • Partikel acceleratorer
    • Fusionsexperiment
    • Rymdsimulering
  • Halvledarprocesser
    • Load lock och övergångskammare
    • Etsning
    • PECVD
    • PVD
    • Jon plantering

Ladda ner katalogdelarna på PDF.

Kontakta oss

Datavägen 57B, 436 32 Askim, Sverige

Svederusgatan 1, 754 50 Uppsala, Sverige

Stäng meny